电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理
文章来源:jfdcq.com | | 阅读量:103 先生发表的时间:2026-06-27
该晶圆营造厂应用于华中省份,主要的生产制造89英寸半导体材料晶圆,每日污水通过排缩量上涨约800吨。会因为的生产制造历程中利用很多盐酸通过晶圆蚀刻,导至污水底氟化物含量达200-300mg/L,远超祖国通过产生标准规定(10mg/L下例)。
废气的成分及來源
污水最主要产于六个教学环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及极富巨资属
药剂学厂家抛光处理(CMP)废液
:含nm级硅小粒、生产络合剂
机刷洗电镀废水
:含异丙醇、挥发酚等生产物
处里工艺设备步骤流程
采用了"催化发展+混疑发展+角度过虑"三阶段加工处理软件系统:
特级处置
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,行成氟化钙沉垫,氟化物删去率达85%
中级补救
:填加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),剔除悬浊液态环境空气污染物
3级清理
:凭借多物料活性酶炭滤芯过滤器和活性酶炭粘附,溢水氟化物浓硫酸浓度相对稳定在8mg/L以下的
核心生产设备包扩:pH智能的调节系统性、斜管发展池、板框刮刀离心机(飞灰脱水处理)。
终结功能
項目作业两年监控参数界面显示:
氟化物均值渗透压:7.2mg/L(压低的国家规格)
COD剔除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年二手回收氟化钙副企业产品约150吨,保持物资化使用