某半导体设备基带芯片造成厂在晶圆加工生产过程中中，实用硅烷做好硅外加生张，废气排放洗衣塔呈现高有机废气浓度含硅焦化废污水。焦化废污水兼有pH价格波动大（2-11）、硅含磷量高的亮点，传统型进行处理方式方法易发现硅垢闭塞故障 。 工业废水有效成分及主要来源 废水处理方法首要含量为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂溶度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢空气氧化钠 ：洗衣机清洗塔酸性洗衣机清洗液杂质 颗粒物硅 ：奈米级SiO₂固体 痕量砷 ：原材硫氰酸盐带到 治理技艺过程 改革创新适用"两极中合+膜滤出+蒸发掉晶粒"技术： 4级与 ：用CaO调低pH至4-5，转换成硅酸钙乳浊液，硅避开率60%。 中级中合 ：加Na₂CO₃将pH提高自己至9，进一大步悠长岁月中已用硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置装置 ：0.02μm淘瓷膜过滤水纳米级级硅粒状，通量维持在80LMH。 MVR多效冷疑器 ：浸提高盐生活污水，沉淀出Na₂SO₄加工品设备，水造纸废水处理率超90%。 从而使用效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L之下 砷量从0.8mg/L降低0.01mg/L 程序无结渣操作多于2年 第二年回报磷酸钠晶胞约800吨